דעפּאָזיציע
באַקומען איינזיכטן און פאַרגיכערן דעם אַנטוויקלונג פּראָצעס.
אַדוואַנסט ענערגיע צושטעלט מאַכט צושטעלן און קאָנטראָל סאַלושאַנז פֿאַר קריטיש דין פילם דעפּאַזישאַן אַפּלאַקיישאַנז און מיטל דזשיאַמעטריעס. צו סאָלווע וועיפער פּראַסעסינג טשאַלאַנדזשיז, אונדזער פּרעסיסיאָן מאַכט קאַנווערזשאַן סאַלושאַנז לאָזן איר צו אָפּטימיזירן מאַכט אַקיעראַסי, פּרעסיסיאָן, גיכקייַט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי.
מיר אָפֿערן אַ ברייטע קייט פֿון RF פֿרעקווענצן, DC מאַכט סיסטעמען, קאַסטאַמייזד מאַכט רעזולטאַט לעוועלס, מאַטשינג טעקנאַלאַדזשיז, און פֿײַבער אָפּטיק טעמפּעראַטור מאָניטאָרינג סאַלושאַנז וואָס באמת געבן אײַך די מעגלעכקייט צו בעסער קאָנטראָלירן די פּראָצעס פּלאַזמע. מיר אויך אינטעגרירן Fast DAQ™ און אונדזער דאַטן אַקוויזישאַן און אַקסעסאַביליטי סוויט צו צושטעלן פּראָצעס ינסייט און פאַרגיכערן דעם אַנטוויקלונג פּראָצעס.
לערנט מער וועגן אונדזערע האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעסן צו געפֿינען די לייזונג וואָס פּאַסט צו אייערע באַדערפענישן.
דיין אַרויסרופן
פֿון פֿילמען געניצט צו מוסטערן אינטעגרירטע קרייז דימענסיעס ביז קאַנדאַקטיווע און איזאָלאַטיווע פֿילמען (עלעקטרישע סטרוקטורן), ביז מעטאַל פֿילמען (אינטערקאַנעקשאַן), אייערע דעפּאָזיציע פּראָצעסן דאַרפֿן אַטאָמישע קאָנטראָל — ניט נאָר פֿאַר יעדן שטריך, נאָר איבער די גאַנצע ווייפֿער.
ווייטער פון דער סטרוקטור אליין, מוזן אייערע אפגעלייגטע פילמען זיין פון הויך קוואַליטעט. זיי דאַרפן האָבן די געוואונטשענע קערל סטרוקטור, איינהייטלעכקייט, און קאָנפאָרמאַל גרעב, און זיין אָן ליידיקייטן — און דאָס איז אין אַדישאַן צו צושטעלן די פארלאנגטע מעכאַנישע דרוקן (קאָמפּרעסיוו און טענסאַל) און עלעקטרישע אייגנשאַפטן.
די קאָמפּלעקסיטעט ווערט נאָר גרעסער. כּדי צו אַדרעסירן ליטאָגראַפֿיע לימיטאַציעס (אונטער-1X נאַנאָמעטער נאָודז), פֿאָדערן זיך-אַליינד טאָפּל און קוואַדרופּל פּאַטערנינג טעקניקס אַז אייער דעפּאָזיציע פּראָצעס זאָל פּראָדוצירן און רעפּראָדוצירן דעם פּאַטערן אויף יעדן ווייפֿער.
אונדזער לייזונג
ווען איר דעפּלויען די מערסט קריטישע דעפּאָזיציע אַפּלאַקיישאַנז און מיטל געאָמעטריעס, איר דאַרפֿן אַ פאַרלאָזלעך מאַרק פירער.
אַדוואַנסט ענערגיע'ס RF מאַכט צושטעלן און הויך-גיכקייַט מעטשינג טעכנאָלאָגיע געבן איר די מעגלעכקייט צו קאַסטאַמייז און אָפּטימיזירן די מאַכט אַקיעראַסי, פּרעסישאַן, גיכקייַט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי פארלאנגט פֿאַר אַלע אַוואַנסירטע PECVD און PEALD דעפּאָזישאַן פּראַסעסאַז.
ניצט אונדזער DC גענעראַטאָר טעכנאָלאָגיע צו פיין-טונען אייער קאָנפיגוראַבלע אַרק רעספּאָנס, מאַכט אַקיעראַסי, גיכקייַט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי פארלאנגט PVD (ספּאַטערינג) און ECD דעפּאָזיציע פּראַסעסאַז.
בענעפיטן
● פֿאַרבעסערטע פּלאַזמע סטאַביליטעט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי פאַרגרעסערט ייעלד
● פּינקטלעכע RF און DC ליפערונג מיט פולער דיגיטאַלער קאָנטראָל העלפֿט אָפּטימיזירן פּראָצעס עפֿעקטיווקייט
● שנעלע רעאַקציע צו פּלאַזמע ענדערונגען און בויגן פאַרוואַלטונג
● מולטי-לעוועל פּאַלסינג מיט אַדאַפּטיוו אָפטקייט טונינג פֿאַרבעסערט עטש קורס סעלעקטיוויטי
● גלאָבאַלע שטיצע פֿאַראַן צו גאַראַנטירן מאַקסימום אַפּטיים און פּראָדוקט פאָרשטעלונג