דעפּאַזישאַן
באַקומען ינסייץ און פאַרגיכערן די אַנטוויקלונג פּראָצעס.
Advanced Energy דיליווערז מאַכט צושטעלן און קאָנטראָל סאַלושאַנז פֿאַר קריטיש דין פילם דעפּאַזישאַן אַפּלאַקיישאַנז און מיטל דזשיאַמאַטריעס.צו סאָלווע ווייפער פּראַסעסינג טשאַלאַנדזשיז, אונדזער פּינטלעכקייַט מאַכט קאַנווערזשאַן סאַלושאַנז לאָזן איר צו אַפּטאַמייז מאַכט אַקיעראַסי, פּינטלעכקייַט, גיכקייַט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי.
מיר פאָרשלאָגן אַ ברייט קייט פון רף פריקוואַנסיז, דק מאַכט סיסטעמען, קאַסטאַמייזד מאַכט רעזולטאַט לעוועלס, וואָס ריכטן טעקנאַלאַדזשיז און פיברע אַפּטיק טעמפּעראַטור מאָניטאָרינג סאַלושאַנז וואָס טאַקע געבן איר צו בעסער קאָנטראָלירן דעם פּראָצעס פּלאַזמע.מיר אויך ויסשטימען Fast DAQ ™ און אונדזער דאַטן אַקוואַזישאַן און אַקסעסאַביליטי סוויט צו צושטעלן פּראָצעס ינסייט און פאַרגיכערן די אַנטוויקלונג פּראָצעס.
לערן מער וועגן אונדזער סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז צו געפֿינען די לייזונג וואָס פיץ דיין דאַרף.
דיין אַרויסרופן
פֿון פילמס געניצט צו מוסטער ינאַגרייטיד קרייַז דימענשאַנז צו קאַנדאַקטיוו און ינסאַלאַטיוו פילמס (עלעקטריקאַל סטראַקטשערז), צו מעטאַל פילמס (ינטערקאַנעקשאַן), דיין דעפּאַזישאַן פּראַסעסאַז דאַרפן קאָנטראָל אויף אַטאָמישע מדרגה - ניט בלויז פֿאַר יעדער שטריך אָבער איבער די גאנצע ווייפער.
ווייַטער פון די סטרוקטור זיך, דיין דאַפּאַזיטיד פילמס מוזן זיין הויך קוואַליטעט.זיי דאַרפֿן צו פאַרמאָגן די געוואלט קערל סטרוקטור, יונאַפאָרמאַטי און קאַנפאָרמאַל גרעב, און זיין פּאָסל-פריי - און דאָס איז אין אַדישאַן צו צושטעלן פארלאנגט מעטשאַניקאַל סטרעסאַז (קאָמפּרעססיווע און טענסאַל) און עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס.
די קאַמפּלעקסיטי נאָר האלט צו פאַרגרעסערן.צו אַדרעס ליטהאָגראַפי לימיטיישאַנז (סאַב-1 קס נם נאָודז), זיך-אַליינד טאָפּל און פירפאַכיק מוסטערונג טעקניקס דאַרפן דיין דעפּאַזישאַן פּראָצעס צו פּראָדוצירן און רעפּראָדוצירן די מוסטער אויף יעדער ווייפער.
אונדזער לייזונג
ווען איר צעוויקלען די מערסט קריטיש דעפּאַזישאַן אַפּלאַקיישאַנז און מיטל דזשיאַמאַטריעס, איר דאַרפֿן אַ פאַרלאָזלעך מאַרק פירער.
די RF מאַכט עקספּרעס און הויך-גיכקייַט וואָס ריכטן טעכנאָלאָגיע פון Advanced Energy געבן איר צו קאַסטאַמייז און אַפּטאַמייז די מאַכט אַקיעראַסי, פּינטלעכקייַט, גיכקייַט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי פארלאנגט פֿאַר אַלע אַוואַנסירטע PECVD און PEALD דעפּאַזישאַן פּראַסעסאַז.
ניצן אונדזער דק גענעראַטאָר טעכנאָלאָגיע צו פינאַנצן דיין קאָנפיגוראַבלע קרייַזבויגן ענטפער, מאַכט אַקיעראַסי, גיכקייַט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי פארלאנגט PVD (ספּוטטערינג) און ECD דעפּאַזישאַן פּראַסעסאַז.
Benefits
● ענהאַנסעד פּלאַזמע פעסטקייַט און פּראָצעס ריפּיטאַביליטי ינקריסאַז טראָגן
● גענוי רף און דק עקספּרעס מיט פול דיגיטאַל קאָנטראָל העלפּס אַפּטאַמייז פּראָצעס עפעקטיווקייַט
● שנעל ענטפער צו פּלאַזמע ענדערונגען און קרייַזבויגן פאַרוואַלטונג
● מולטי-מדרגה פּאַלסינג מיט אַדאַפּטיוו אָפטקייַט טונינג ימפּרוווז עטש קורס סעלעקטיוויטי
● גלאבאלע שטיצן בנימצא צו ענשור מאַקסימום ופּטימע און פּראָדוקט פאָרשטעלונג