MSB סעריע מיטל אָפטקייט ספּאַטערינג מאַכט צושטעלן
-
MSB סעריע מיטל אָפטקייט ספּאַטערינג מאַכט צושטעלן
די RHH סעריע RF מאַכט צושטעל פֿאַרלאָזט זיך אויף דערוואַקסענע RF דזשענעריישאַן טעכנאָלאָגיע צו צושטעלן קאַסטאַמערז מיט RF מאַכט צושטעל מיט גרעסערע מאַכט, העכער פּינקטלעכקייט און שנעלער רעאַקציע. מיט פאַזע קענען זיין געשטעלט, פּולס קאַנטראָולד, דיגיטאַל טונינג און אנדערע פאַנגקשאַנז. אָנווענדלעך פעלדער: פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע, פלאַך פּאַנעל אַרויסווייַזן אינדוסטריע, האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, כעמישער אינדוסטריע, לאַבאָראַטאָריע, וויסנשאַפטלעכע פאָרשונג, מאַנופאַקטורינג, עטק.
אָנווענדלעך פּראָצעסן: פּלאַזמע ענהאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (PECVD), פּלאַזמע עטשינג, פּלאַזמע רייניקונג, ראַדיאָ אָפטקייַט יאָן מקור, פּלאַזמע דיפוזיע, פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע ספּאַטערינג, רעאַקטיוו ספּאַטערינג, עטק.