TPM5 סעריע מאַכט קאָנטראָללער
-
TPM5 סעריע מאַכט קאָנטראָללער
דער TPM5 סעריע מאַכט קאָנטראָללער נעמט אָן די מאָדול פּלאַן געדאַנק און אינטעגרירט ביז 6 קרייזן אינעווייניק. פּראָדוקטן ווערן דער הויפּט גענוצט אין דיפוזיע אויוון, PECVD, עפּיטאַקסי אויוון, אאז"וו.